Dans le but de vulgariser le plasma froid et ses applications, nous vous proposons un peu d’information théorique :
Les états solides, liquide et gazeux sont des états que tout le monde connaît. Moins connu, le plasma est considéré comme le 4ème état de la matière et ressemble à une flamme. Dans cette flamme, les atomes de matière sont chargés électriquement, on dit que les gaz sont ionisés. A l’état naturel, on distingue les plasmas naturels :
A notre niveau, l’application la plus vulgarisée de l’utilisation des plasmas est notre éclairage au Néon.
Au niveau industriel, les applications liées au plasma se passent généralement dans une enceinte fermée permettant de confiner le plasma. On considère 2 types de plasmas. Les plasmas chauds qui peuvent atteindre plusieurs milliers de degré, et les plasmas froids, dont les températures ne dépassent pas 400°.
Dans notre cas, nous ne travaillons qu’avec des plasmas froids ionisés par des micro-ondes.
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La matière nécessaire est introduite sous la forme d'un gaz dans l’enceinte du réacteur en conditions de vide relatif. Le vide permet l'obtention d'un plasma froid. |
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Sous l'effet d'un apport d'énergie par micro-ondes, le gaz se décompose sous la forme d'un nuage de molécules plus ou moins dissociées, d'ions, d'électrons, de neutrons, de photons : c'est le plasma, 4ème état de la matière. Cet état, totalement anarchique, est caractérisé par une excitation maximale, avec des niveaux d'énergie très élevés, des vitesses de déplacement extrêmes.
| Ce gaz ionisé apporte de nombreuses solutions dans de nombreux secteurs industriels. Nous les scinderons le marché en trois parties : La microélectronique, Le traitement de surface, |